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- 2023-02-03 发布于四川
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本申请公开了一种硅基行波电极调制器，包括依次层叠的硅衬底、绝缘层和光波导层，以及设于所述光波导层上的行波电极；所述光波导层包括光波导和光波导两侧的掺杂接触区，所述行波电极通过导电过孔与所述掺杂接触区电连接；所述硅衬底位于所述光波导下方的区域设有电学防损耗部，所述电学防损耗部邻接所述绝缘层，所述电学防损耗部包括填充于所述硅衬底内的无损耗介质。在硅衬底位于光波导下方的位置制作电学防损耗部，减少了调制器的微波损耗，可有效提高调制器的带宽，同时具有较强的机械强度，具备良好的可靠性、稳定性和产品良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212341627 U
(45)授权公告日 2021.01.12
(21)申请号 202021222723.3
(22)申请日 2020.06.29
(73)专利权人 苏州旭创科技有限公司
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