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一种真空磁控溅射镀膜机.pdfVIP

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  • 2023-02-03 发布于四川
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一种真空磁控溅射镀膜机.pdf

    本实用新型提供一种真空磁控溅射镀膜机，包括真空箱体、抽真空机构以及与工件架，所述工件架设置在所述真空箱体上端内部，所述工件架通过转动轴与设置在真空箱体上端的驱动电机相连接，所述工件架包括工件杆、工件圆盘以及工件中心杆，所述工件杆呈环形设置在所述工件圆盘，所述工件圆盘的圆心固定连接工件中心杆，所述工件杆为伸缩设置，所述工件杆远离中心圆盘对的一端设置工件安置架，所述工件安置架设置有中间杆以及分支架解决了传统工件架固定的，在不同的大小高度的物件，需要大小不同的工件架，这样容易造成工件架种类繁多，且造成

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212357371 U (45)授权公告日 2021.01.15 (21)申请号 201921820841.1 (22)申请日 2019.10.28 (73)专利权人 浙江三海微纳科技有限公司

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