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本实用新型涉硅片变向装置，包括变向架、变向平带、变向滑块、变向主动轴、变向主动带轮、变向从动轴、变向从动带轮和电机，变向主动轴和变向从动轴均转动安装在变向架的两端，电机安装在变向架的一侧，且与变向主动轴连接，变向滑块安装在变向架上且位于变向主动轴与变向从动轴之间，变向滑块倾斜设置，变向平带套在变向主动带轮和变向从动带轮上，且滑动位于变向滑块上；还包括水平喷嘴，水平喷嘴位于变向架顶部的一侧，水平喷嘴用于硅片变成水平状态时吹气缓冲硅片；变向喷嘴，变向喷嘴位于变向架底部的一侧，变向喷嘴用于吹气将硅片贴
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212355536 U
(45)授权公告日 2021.01.15
(21)申请号 202020686192.7
(22)申请日 2020.04.29
(73)专利权人 无锡喆创科技有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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