一种真空蒸镀坩埚.pdfVIP

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2023-02-04 发布于四川
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本实用新型公开了一种真空蒸镀坩埚，涉及蒸镀坩锅技术领域，为解决现有技术中的真空蒸镀所使用的坩埚大多为铝制或是石墨结构，二者皆存在一定的弊端，石墨在高温状态下容易发生氧化，铝制虽然抗氧化性强，但不耐腐蚀的问题。所述蒸镀组合坩埚包括坩埚内胆和坩埚外体，且坩埚内胆设置在坩埚外体的内部，所述坩埚内胆的顶部设置有金属法兰片，且金属法兰片与坩埚内胆和坩埚外体贴合连接，所述坩埚外体与坩埚内胆通过固定螺栓连接，且固定螺栓贯穿坩埚外体和金属法兰片延伸至坩埚内胆的内部，所述坩埚外体的外表面设置有感应电源插口，所述坩

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212357367 U (45)授权公告日 2021.01.15 (21)申请号 202020793602.8 (22)申请日 2020.05.14 (73)专利权人苏州工业园区通易机械有限公司