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衬底托.pdfVIP

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  • 2023-02-05 发布于四川
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衬底托.pdf

    本实用新型提供了一种衬底托，用于支撑衬底，在衬底上进行材料生长，其中，所述衬底托包括：基座和支撑装置；所述基座为环状结构；所述支撑装置第一端与所述基座一体相连；所述支撑装置第二端为弧面结构，且与所述衬底下表面相切。本实用新型中通过减小支撑装置与衬底的接触面，降低支撑装置与衬底之间的热传导，实现衬底表面高均匀性温度分布，提高材料生长质量。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212357378 U (45)授权公告日 2021.01.15 (21)申请号 202020868043.2 (22)申请日 2020.05.21 (73)专利权人 中国科学院半导体研究所

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