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- 2023-02-05 发布于四川
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本实用新型公开了一种镀银抗菌织物的制备装置，包括反应腔体、等离子体电源和真空抽吸泵，真空抽吸泵与反应腔体内部连通，反应腔体内部两侧分别安装与等离子体电源两极连接的正电极和负电极，反应腔体内底部安装靶材台，反应腔体中部活动安装屏蔽罩，靶材台与屏蔽罩之间的反应腔体侧壁开设溅射气体入口，反应腔体顶部安装基材台，反应腔体顶部与溅射气体入口相对的另一侧壁开设改性气体入口。与现有技术相比，本实用新型采用一体式改性‑溅射反应腔体形式，结构紧凑合理；可通过调节基材台与靶材台间距，方便控制镀层厚度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212357369 U
(45)授权公告日 2021.01.15
(21)申请号 202020997495.0 D06M 11/83 (2006.01)
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