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一种MEMS芯片级正交信号消除装置.pdfVIP

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  • 2023-02-05 发布于四川
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一种MEMS芯片级正交信号消除装置.pdf

    一种MEMS芯片级正交信号消除装置，框架电极设置在框架质量块上面，质量块上面通过弹簧设置在框架质量块上，质量块下面通过阻尼器与框架质量块连接，质量块下面对应感应电极，框架质量块通过弹簧和阻尼器与外部框架连接；框架质量块与驱动电容转换器和驱动环路连接，框架电极和框架电容转换器连接，质量块和感应电容转换器连接，并通过框架信号放大器和模数转换器连接；驱动电容转换器、驱动感应放大器、框架信号放大器和模数转换器构成ASIC模块。本实用新型的优点：不需要额外的电路，降低成本。不需要修正，没有量化误差，大大节

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212363227 U (45)授权公告日 2021.01.15 (21)申请号 202020897854.5 (22)申请日 2020.05.26 (73)专利权人 罕王微电子（辽宁）有限公司

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