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喷淋式滤酸水淋装置及喷淋式滤酸水淋系统.pdfVIP

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  • 2023-02-05 发布于四川
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喷淋式滤酸水淋装置及喷淋式滤酸水淋系统.pdf

    本实用新型实施例涉及半导体芯片制造工艺中的废气过滤技术领域，具体而言，涉及一种喷淋式滤酸水淋装置及喷淋式滤酸水淋系统。该喷淋式滤酸水淋装置包括箱体、进风管道、排风管道和喷淋件。其中，箱体的空腔内设置有将空腔分隔为进风腔和排风腔的分隔板，且分隔板与箱体的底壁之间存在间隙。进风管道与进风腔连通且排风管道与排风腔连通，喷淋件从箱体的顶壁伸入进风腔并位于进风口和箱体的底壁之间。这样，能够使得喷淋件喷出的水雾对通过进风管道进入进风腔的酸气进行溶解，从而实现对酸气的过滤，以减少酸气的对外排放。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212348265 U (45)授权公告日 2021.01.15 (21)申请号 202020975015.0 (22)申请日 2020.06.02 (73)专利权人 吉林华微电子股份有限公司

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