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本实用新型属于激光加工领域，公开了一种激光高效大面积动态干涉加工装置，该装置包括整形激光输出组件，以及二维扫描组件、聚焦扫描场镜(6)和激光干涉系统(7)；激光干涉系统用于对激光进行衍射分光处理，得到包括至少两束第1级衍射激光在内的衍射激光，并对衍射激光的传输进行控制，使至少两束第1级衍射激光能够在目标区域重合进而发生光的干涉效应；该光的干涉效应能够用于在待加工工件(10)的目标加工区域上加工形成微纳结构。本实用新型通过对装置的激光干涉加工的原理、相应各组件的设置及配合工作关系等进行分析与设计，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212371419 U
(45)授权公告日 2021.01.19
(21)申请号 202020080732.7
(22)申请日 2020.01.15
(73)专利权人 华
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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