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本实用新型公开了一种扩散和CVD设备的粗炉丝无变压器炉体,包括炉丝骨架、内保温层、外保温层和不锈钢外壳,所述炉丝骨架由电炉丝和支撑骨架组成,所述电炉丝设有多段,每段电炉丝之间互相绝缘,所述电炉丝为环形粗电炉丝,所述内保温层套接在炉丝骨架外侧,所述外保温层套接在内保温层外侧,所述不锈钢外壳套接在外保温层的外侧。将炉体的电炉丝分成多块,并在每段电炉丝上设置有引出接头使炉体能够在采用粗电炉丝的同时不用再设置变压器,保证了炉体使用寿命和使用效率的同时避免了大量功率的消耗,节约了生产成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212378499 U
(45)授权公告日 2021.01.19
(21)申请号 202020670384.9
(22)申请日 2020.04.28
(73)专利权人 深圳丰盛装备股份有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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