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用于工艺腔室的装置.pdfVIP

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  • 2023-02-07 发布于北京
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用于工艺腔室的装置.pdf

    本文所述的实施方式涉及用于工艺腔室中的机械隔离和热绝缘的装置和技术，具体为一种用于工艺腔室的装置。在一个实施方式中，绝缘层被设置在圆顶组件和气体环之间。绝缘层被配置以维持圆顶组件的温度并且防止从圆顶组件到气体环的热能传递。绝缘层提供圆顶组件与气体环的机械隔离。绝缘层还在圆顶组件和气体环之间提供热绝缘。绝缘层可由含聚酰亚胺的材料制成，所述材料大幅地降低绝缘层变形的发生。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212389950 U (45)授权公告日 2021.01.22 (21)申请号 201922220608.6 (22)申请日 2019.12.09 (30)优先权数据

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