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晶圆作业平台及具有其的点胶机.pdfVIP

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  • 2023-02-07 发布于四川
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晶圆作业平台及具有其的点胶机.pdf

    本实用新型公开了一种晶圆作业平台及具有其的点胶机，晶圆作业平台能够用于点胶机本体对晶圆进行点胶，点胶机本体在点胶位置和保温位置之间可活动，点胶机包括：发热支撑台；加热器，上表面形成为加热面，晶圆位于加热面的上方，在点胶机本体位于点胶位置时，点胶机本体位于晶圆的上方；点胶保温平台，设于发热支撑台的一侧，点胶保温平台具有能够对点胶机本体进行加热的保温面，在点胶机本体位于保温位置时，点胶机本体接近于保温面。根据本实用新型实施例的晶圆作业平台不仅能够确保胶水的温度达到点胶要求，防止胶水冷却不易流出，还能

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212370488 U (45)授权公告日 2021.01.19 (21)申请号 202021419017.8 B05C 11/10 (2006.01)

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