一种晶圆对中机构.pdfVIP

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2023-02-07 发布于四川
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本实用新型公开了一种晶圆对中机构，包括网板、对中台、中心孔、底圆盘、安装盒、转动盘、控制把、按键板和调控组件，本实用新型通过优化设置了调控组件，利用外置控制把、转动盘简易控制传递杆位置，使得铰件间的铰点夹角变化进而间接控制探测灯上阻隔件位置变动，结构简单，高效阻隔照射源控制检测光源呈像半径，使用效果好；通过优化设置了遮控组环件，简易的第一半环、阻隔环片配合结构在L架片被带动转动，能够利用简易的第一半环、第二半环配合阻隔局部光源向上传递，内部配合结构配合效果好。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212380393 U (45)授权公告日 2021.01.19 (21)申请号 202021184582.0 (22)申请日 2020.06.23 (73)专利权人芯米（厦门）半导体设备有限公司