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化学机械研磨装置.pdfVIP

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  • 2023-02-07 发布于北京
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化学机械研磨装置.pdf

    本实用新型实施例公开了一种化学机械研磨装置，包括：研磨平台，围绕所述研磨平台安装的防溅挡板，以及在所述研磨平台上工作的操作部件；其中，所述防溅挡板包括固定挡板和移动挡板；所述固定挡板配置为安装在所述研磨平台外周的固定遮挡区，所述固定遮挡区为所述操作部件移动时不会经过的区域；所述移动挡板配置为能够沿所述研磨平台的外周移动，所述移动挡板的移动轨迹经过避让遮挡区，所述避让遮挡区包括所述操作部件移动时经过的区域。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212385261 U (45)授权公告日 2021.01.22 (21)申请号 202020395933.6 (22)申请日 2020.03.25 (73)专利权人 长江存储科技有限责任公司

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