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一种弯管过滤式涂层机.pdfVIP

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  • 2023-02-07 发布于四川
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一种弯管过滤式涂层机.pdf

    本实用新型涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种弯管过滤式涂层机，其包括控制柜、真空泵、真空容器、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构；真空容器设置有真空内腔；靶材离化机构包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和真空管机构，真空管机构包括弧形管组件和多组直管组件；弧形管组件和直管组件均包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件。本申请的涂层机的靶材离化机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化机构的冷却效果。同时，靶材夹

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212375369 U (45)授权公告日 2021.01.19 (21)申请号 202021423132.2 (22)申请日 2020.07.17 (73)专利权人 广东鼎泰机器人科技有限公司

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