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本实用新型属于电子束蒸发法技术领域,尤其是一种电子束蒸发台加热器装置,包括电子束蒸发台,所述电子束蒸发台的一侧开设有安装槽,且安装槽内卡装有安装板,所述安装板的两侧均固定安装有固定板,所述固定板上开设有对称设置的两个固定槽,所述电子束蒸发台的一侧固定安装有两个对称设置的固定座,所述固定板的一侧贴合有对称设置的两个转动块,且转动块和相对应的固定槽相适配,所述转动块的两侧均固定安装有条形板;本实用新型操作方便,只需要简单的几个操作步骤便可以将电子加速器拆下,大大方便了维修人员对电子加速器的维修,提高
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212388103 U
(45)授权公告日 2021.01.22
(21)申请号 202021011687.6
(22)申请日 2020.06.04
(73)专利权人 无锡芯谱半导体科技有限公司
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