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- 2023-02-09 发布于北京
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本实用新型公开了一种硅基OLED探针测试装置，包括电气柜和设在电气柜上的测试台，所述测试台上设有探针台和位于探针台上方可水平移动的龙门架，所述探针台上设有用于去扎Wafer外围PAD进行全屏点亮的两根探针，所述龙门架的下部对应探针台设有检测相机和光谱仪。使用两根探针扎到外围PAD上给Die供电使Wafer全屏点亮，再使用面阵相机或TDI线阵相机对Wafer全屏进行快速成像分析，无需探卡，可快速测试使得TactTime较传统自动探针台测试硅基OLED降低76.8％，提高了测试效率，且不会对Bon
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212410029 U
(45)授权公告日 2021.01.26
(21)申请号 202021336804.6 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
(22)申请日 2020
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