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- 2023-02-09 发布于北京
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本实用新型涉及一种铜腐蚀液用生产线，所述铜腐蚀液用生产线包含配制罐（1）、乙酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、磷酸储罐（4）、表面活性剂储罐（5）、真空泵（6）、单向阀（7）、三通（8）、压缩空气水洗装置（9）、滤芯（10）、检验装置（11）和三通阀（12）；所述配制罐（1）顶部设有四个进料口和一个出气口，四个进料口分别与乙酸储罐（2）、硝酸储罐（3）、磷酸储罐（4）和表面活性剂储罐（5）通过管道相连，出气口与真空泵（6）相连。本实用新型生产的铜腐蚀液不腐蚀铝、镓等金属层及硅片、铜腐蚀速率平稳可控、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212396595 U
(45)授权公告日 2021.01.26
(21)申请号 202021471657.3 B01F 3/22 (2006.01)
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