一种三氯氢硅湿法除尘循环液的回收系统及方法.pdfVIP

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2023-02-10 发布于四川
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一种三氯氢硅湿法除尘循环液的回收系统及方法.pdf

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本发明属于三氯氢硅生产技术领域，公开一种三氯氢硅湿法除尘循环液的回收系统及方法。该回收系统包括氯化氢预热器和合成炉，氯化氢预热器的出气口与合成炉的进气口相连，还包括气流干燥塔、捕集器和缓冲罐，气流干燥塔的底部与缓冲罐相连，气流干燥塔的下部设有氯化氢气体进口，氯化氢气体进口与氯化氢预热器的出气口相连，气流干燥塔的上部设有湿法除尘循环液喷淋组件，气流干燥塔的顶部与捕集器下部的进料口相连，捕集器底部设有排料管，捕集器顶部的出气口与合成炉的进气口相连，缓冲罐底部设有放料管。本发明可将湿法除尘循环液中的氯

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111908475 A (43)申请公布日 2020.11.10 (21)申请号 20191