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本发明涉及一种光器件及其制作方法。一种光器件，包括：半导体衬底；所述半导体衬底上形成有波导结构；所述波导结构表面形成凹槽，所述凹槽露出所述波导结构的全部区域；所述凹槽内填充有具有折光功能的树脂材料。本发明采用树脂材料代替热电调制折射率/波长，不再受光波导材料的限制，对任意热光系数的波导材料均适用，并且制作的器件可靠性提高。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112612148 A
(43)申请公布日 2021.04.06
(21)申请号 202011432709.0
(22)申请日 2020.12.09
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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