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级联微型麦克风.pdfVIP

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  • 2023-02-10 发布于四川
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级联微型麦克风.pdf

    公开了一种级联微型麦克风，级联微型麦克风包括并联连接的多个微型麦克风。每个微型麦克风包括：衬底，衬底包括第一空腔；第一牺牲层，位于衬底上，第一牺牲层包括第二空腔；振膜层，振膜层的至少一部分由第一牺牲层支撑，位于第二空腔上方的振膜层形成振动隔膜；第二牺牲层，位于振膜层上，第二牺牲层包括第三空腔；背极板层，位于第二牺牲层上，背极板层的至少一部分由第二牺牲层支撑，位于第三空腔上方的背极板层形成背极板，背极板包括至少一个声孔；其中，每个微型麦克风中，第三空腔的尺寸小于第一空腔的尺寸。本实用新型实施例提高

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212435926 U (45)授权公告日 2021.01.29 (21)申请号 202021197820.1 (22)申请日 2020.06.24 (73)专利权人 杭州士兰集昕微电子有限公司

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