原创力文档- 6
- 0
- 约1.41万字
- 约 14页
- 2023-02-10 发布于四川
- 举报
公开了一种微型麦克风，微型麦克风包括：衬底，衬底包括第一空腔；第一牺牲层，位于衬底上，第一牺牲层包括第二空腔；振膜层，振膜层的至少一部分由第一牺牲层支撑，位于第二空腔上方的振膜层形成振动隔膜；第二牺牲层，位于振膜层上，第二牺牲层包括第三空腔；背极板层，位于第二牺牲层上，背极板层的至少一部分由第二牺牲层支撑，位于第三空腔上方的背极板层形成背极板，背极板包括至少一个声孔；其中，第三空腔的尺寸小于第一空腔的尺寸。本实用新型实施例的微型麦克风减小了寄生电容，解决了工艺偏差对器件性能造成不利影响的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212435927 U
(45)授权公告日 2021.01.29
(21)申请号 202021197828.8
(22)申请日 2020.06.24
(73)专利权人 杭州士兰集昕微电子有限公司
文档评论（0）