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集成加速度传感器和磁传感器的封装结构.pdfVIP

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  • 2023-02-10 发布于四川
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集成加速度传感器和磁传感器的封装结构.pdf

    本实用新型提供一种集成加速度传感器和磁传感器的封装结构，所述集成加速度传感器和磁传感器的封装结构包括：第一晶圆，其正面侧设置有加速度传感器，磁传感器，金属焊盘，以及处理加速度传感器和磁传感器的传感信号的信号处理电路，第一晶圆上与所述加速度传感器相对位置处还设置有第一腔体；第二晶圆，其与所述第一晶圆的正面相键合，第二晶圆上与所述加速度传感器相对位置处设置有第二腔体。与现有技术相比，本实用新型中的集成加速度传感器和磁传感器的封装结构及其封装方法，只需要在一张晶圆上完成加速度传感器和磁传感器及其信号处

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212434621 U (45)授权公告日 2021.01.29 (21)申请号 202021386670.9 G01D 21/02 (2006.01) (22)申请日 2

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