原创力文档- 3
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- 2023-02-10 发布于四川
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本实用新型提供一种三轴磁场传感器，其包括：第一导电类型衬底；第一垂直霍尔传感器，其包括延伸至第一导电类型衬底内的第一个第二导电类型阱，以及沿延伸至第一个第二导电类型阱内的第一组第二导电类型端口；第二垂直霍尔传感器，其包括延伸至第一导电类型衬底内的第二个第二导电类型阱，以及延伸至第二个第二导电类型阱内的第二组第二导电类型端口；平面霍尔传感器，其包括延伸至第一导电类型衬底内的第三个第二导电类型阱，以及延伸至第三个第二导电类型阱内的第三组第二导电类型端口。与现有技术相比，本实用新型不仅可以实现探测三轴
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212433375 U
(45)授权公告日 2021.01.29
(21)申请号 202021070425.7
(22)申请日 2020.06.11
(73)专利权人 新纳传感系统有限公司
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