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- 2023-02-10 发布于四川
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本实用新型公开了一种简易晶圆脱水机，包括带有脱水筒的脱水机，所述脱水筒内对称固定设置有多个用于放置花篮的脱水篮，所述花篮用于承载晶圆。本实用新型通过在普通的带有脱水功能的脱水机的脱水筒内设置脱水篮，将盛装晶圆的花篮放入脱水篮内，调整几个脱水篮之间的配重，即可实现对晶圆的脱水，其制作成本低，使用成本低，脱水效果好，使用方便，操作简单。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212434586 U
(45)授权公告日 2021.01.29
(21)申请号 202021306193.0
(22)申请日 2020.07.07
(73)专利权人 安徽芯旭半导体有限公司
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