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本实用新型公开了一种TFT玻璃薄膜层沉积装置，包括沉积源、沉积源喷嘴、连接构件、图案化缝隙片、基底、U型管、滑轨、驱动机构和电动伸缩杆，所述沉积源和图案化缝隙片之间通过框形的连接构件相连接，所述沉积源与沉积源喷嘴相连接，所述沉积源喷嘴位于图案化缝隙片的下方，所述连接构件的两侧固定连接有滑轨，所述基底的上表面铺设有多根平行排列的U型管。通过流体控温系统向U型管中通入一定温度的流体，实现对基底的控温；能够扩大TFT玻璃薄膜的最终成型面积，适用大尺寸TFT玻璃薄膜的生产；且在移动过程中配合流体控温系统
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212451632 U
(45)授权公告日 2021.02.02
(21)申请号 202020792130.4
(22)申请日 2020.05.12
(73)专利权人 安
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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