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一种槽式机台水槽节水装置.pdfVIP

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  • 2023-02-11 发布于四川
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一种槽式机台水槽节水装置.pdf

    本实用新型涉及硅片清洗领域，一种槽式机台水槽节水装置，包括锥形底的敞口的水槽1，所述水槽1内侧中上部安装有两层栅栏网，第一层栅栏网2上用于放置待清洗的硅片，第二层栅栏网3处于所述第一层栅栏网2下侧，第二层栅栏网3上安装有多个鼓泡装置4，所述水槽1口沿内侧安装有喷口朝向所述水槽1内部的喷淋装置5，所述第二层栅栏网3下侧的所述水槽1槽壁上有第一出水口7，所述第一层栅栏网2上侧的所述水槽1槽壁上有第二出水口6。本实用新型在满足清洗目的的同时能够节省纯净水。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218424392 U (45)授权公告日 2023.02.03 (21)申请号 202222099054.0 (22)申请日 2022.08.10 (73)专利权人 山西潞安太阳能科

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