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第八章技术部分 激光诱导击穿光谱仪技术要求 .采购背景/目标采购背景 激光诱导击穿光谱(LIBS)技术是近年来光谱分析及元素分析领域备受关注的一项 新技术，通过近十年来不断的技术升级及应用开发，基于LIBS技术的分析仪器已具备 商业化分析仪器的所有要求，成为样品的全元素定性及定量分析、快速直接样品检测、 微米级的微区分析等研究领域一项重要的技术，对现有的其它元素分析方法也是一个很 好的补充，该设备可为环境科学、化学、物理、力学等多个学科的发展发挥良好的技术 支撑作用，提高分析研究的技术水平，增强该领域的影响力。目前，市场上现有设备测 量结果的有效性与可靠性仍缺乏计量溯源来保证。美国NIST等发达国家计量院已经开 展LIBS计量溯源技术(计量标准、标准物质等)研究。目前，中国计量科学研究院尚 没有LIBS仪器,开展相应的计量溯源技术研究也无从谈起，这种局面不能保证我国LIBS 测量结果的准确性和一致性，也难以很好支撑我国相应产业发展及科研水平提升。 采购目标 中国计量科学研究院通过购置一台高分辨率、高稳定性且开放式的LIBS仪器来开 展相关计量技术研究，建立国家计量标准、研制标准物质，解决LIBS测量结果的量值 溯源/传递问题，支撑我国相应产业发展及科研水平提升。 .采购标的执行标准 该设备暂无国家标准和技术规范。 .技术规格样品室 .1.1 #高精度电控样品室两套，分别适配于1064nni及266nm激光器； . 1. 2电控操作台可移动范围：X轴Y轴Z轴均不小于75mm；移动分辨率优于1 u m： 3. 1.3内置高亮度LED照明系统，可自由调节方向； 3. 1.4样品支架：具有自动位置识别功能，含4个标准样品支架； 3. 1.5配置垂直与水平监控彩色摄像头，分辨率不低于1956*1266像素，速率60fps； 3. 1.6包含气体吹扫端口，可对样品表面进行惰性气体吹扫； 3. 1.7包含废气排放端口，可将废气及时抽出； 正向侧向配置激光防护观察窗，防护等级0D6+,激光安全等级Class I。 3.2激光器 3.2. 1*系统包含两套独立固体双脉冲激光器，波长分别为1064nni和266nm；3.2.2#脉冲能量：单激发脉冲能量2120叨(1064皿)，230mJ (266nm)；双激发 脉冲能量2100+100mJ(1064nm), 225+25mJ (266 nm)； 3. 2. 3闭环水冷制冷； 3. 2. 4#脉宽(10ns； 3. 2. 5重复频率220Hz； 3. 2. 6发散角优于0. 5mrad； 3. 2.7脉冲间隔1-20人 可调； 激光能量稳定性：W2% (峰峰值); 3. 2. 9光束指向稳定性：＜50u rad； 3.2. 10 #激光光路固定，设备安装完成后不需再调整光路。 3.3激发采集光路 . 3. 1两套激发采集光路,含反射镜及聚焦镜，分别适配于1064nm和266nm激光器;.3.2 *光路包含1个激光耦合激发端口，6个透镜耦合采集端口，标准SMA905光 纤接口； 3.3 *266nm拉曼专用徙光片及安装固定支架，0D值27。 3.4自动控制和分析系统 1配置2个数字延时发生器；3. 4. 2高性能计算机：Windows 10 Pro操作系统，内存16G,显示器2个，双显示 器分屏显示，鼠标1个、键盘1套； 3. 4. 3全自动控制软件，包括： 3. 4. 3. 1 #全自动快速Mapping功能控制,每秒打点不少于20个(x, y)并同 步保存数据；3. 4. 3. 2可控制系统于单点测量与扫描测量模式之间切换； 3. 4. 3. 3软件可控制激光器、样品室、光谱仪等系统部件，实现给气、排气、 照明、拍照、精密位移等所有功能； 3. 4. 4数据分析处理软件3. 4. 4. 1二进制文件导入，可对光谱特征进行优化及简单运算处理； 3. 4. 4. 2节点式数据处理分析方式，运算过程全部可见，并可针对任何环节独 立修改；3. 4. 4. 3支持多线程并行处理； 3. 4. 4. 4内置元素实际测量数据库，同时可连接NIST数据库；支持光谱自动寻 峰，并利用所包括的数据库来识别原子、分子和它们的离子态；可以调用多幅 光谱图进行比较；数据以ASC II、二进制和Excel (CSV)格式输出，或以BMP, WMF 和WPG图形格式输出。 3.5光谱仪 3. 5. 1*超高光谱分辨率中阶梯光栅光谱仪，光谱范围不小于190-1 lOOnm； 3. 5. 2*光谱解析能力260000 X /FWIIM； 3. 5. 3光谱分辨率(5pm@313nm)； 3. 5. 4狭缝宽度8-128um可调; 3. 5. 5焦距：120mm； 3. 5. 6杂散光：W2. 0X10、3.6检测器 6. 1 *