照明装置及暗场检测系统.pdfVIP

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2023-02-11 发布于四川
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照明装置及暗场检测系统.pdf

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本发明涉及一种照明装置和暗场检测系统，所述照明装置包括光源、光导及光路整形机构，所述照明装置具有第一轴线；其中，所述光导具有多个输出分端，多个所述输出分端环绕所述第一轴线间隔布置，每个所述输出分端皆为狭缝，并与所述第一轴线形成夹角；所述光路整形机构设置于所述输出分端的出口端，以与所述输出分端共同形成光路成形路径，所述光路成形路径对目标物形成环形照射；所述光源输出照明光束，所述照明光束耦合至所述光导并从所述输出分端输入所述光路整形机构，经由所述光路整形机构整形后的所述照明光束入射至所述目标物，并在

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212430512 U (45)授权公告日 2021.01.29 (21)申请号 202022015751.4 G01N 21/95 (2006.01)