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本实用新型公开一种用于金刚石膜沉积工艺的基片超声预处理支架,包括腔体,腔体的顶面上插接有气管,腔体的底面上固定有支架,腔体内设有相互垂直的两条气路,两条气路位于同一平面上,两条气路连通,气管伸入腔体连通两条气路的连接处,气路的两端分别插接在腔体上对称的两个侧壁上,腔体的侧壁上开设有衬底卡槽,衬底卡槽的底壁上开设有密封槽,密封槽内嵌设有密封垫,气路的端部贯穿密封垫,本实用新型一可以使衬底悬于悬浊液中,二可提高衬底每部分处理的均匀性,还可根据需要选择最佳的处理角度,在处理衬底的数量上有很大的提高,因
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212451631 U
(45)授权公告日 2021.02.02
(21)申请号 202021282213.5 C23C 14/02 (2006.01)
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