一种用于沉积炉内的支撑件.pdfVIP

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2023-02-13 发布于四川
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一种用于沉积炉内的支撑件.pdf

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本实用新型公开了一种用于沉积炉内的支撑件，它的顶部设有一组上支撑顶，底部设有一组下支撑脚；所述上支撑顶之间设有一顶部导气槽；所述下支撑脚之间设有一纵向的底部导气槽，以及一横向的侧向导气槽。上支撑顶用于支撑上部的待沉积工件，下支撑脚支撑在沉积炉内的底板平台上。顶部导气槽、底部导气槽以及侧向导气槽方便沉积气体的流动，充分的与沉积工件表面接触。使用二至三组支撑件将待沉积工件支撑起来，能够最大化的增加工件沉积面积，同时气流能够顺畅流经各沉积面，不会被支撑件所阻挡，从而保证了最终沉积效果，提高产品品质，延

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212476877 U (45)授权公告日 2021.02.05 (21)申请号 202021230863.5 (22)申请日 2020.06.29 (73)专利权人江苏协鑫特种材料科技有限公司