一种模块化设计MEMS扩散硅压力传感器.pdfVIP

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2023-02-13 发布于四川
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一种模块化设计MEMS扩散硅压力传感器.pdf

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本实用新型提供了一种模块化设计MEMS扩散硅压力传感器，包括压力输入模块、压力感应模块、信号处理模块、信号输出模块；所述压力输入模块负责外界压力的输入，在其竖直方向的中心设有空腔；所述压力感应模块负责感应压力信号，嵌入在所述空腔上部；所述信号处理模块负责对压力信号进行放大、运算、整形、补偿和标定的处理，安装在压力感应模块的上方并与之顶端信号连接；所述信号输出模块负责将压力信号进行输出，位于信号处理模块上方包裹住信号处理模块并与之顶端信号连接，且与压力输入模块上端部固定连接。本实用新型的有益效果在

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212482747 U (45)授权公告日 2021.02.05 (21)申请号 202021471525.0 (22)申请日 2020.07.23 (73)专利权人唐中山地址 51