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本实用新型一种Pin针旋转升降装置,所述装置包含有竖向安装有安装于Pin针安装板(4)上Pin针(1),且Pin针安装板(4)竖向滑动套装于主轴(13)上,且Pin针(1)穿过热板(2)伸出,顶升安装板(11)设置于顶升气缸(12)的活塞杆上,所述顶升安装板(11)驱动Pin针安装板(4)升降。本实用新型一种Pin针旋转升降装置,解决了Pin脱离旋转部分,由于光电传感器带来的误差,Pin针无法对准热板孔,从而无法顶升基片的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212493580 U
(45)授权公告日 2021.02.09
(21)申请号 201922501866.1
(22)申请日 2019.12.31
(73)专利权人 江苏雷博科学仪器有限公司
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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