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本实用新型属于半导体生产应用设备领域,涉及测温杆,尤其涉及一种半导体生产用测温杆支撑架。包括底座以及竖直设置在底座上方的立杆,所述立杆上设置有支撑杆,所述支撑杆与立杆之间可活动固定连接,所述支撑杆和立杆之间垂直设置,所述支撑杆上设置有刻度尺,所述刻度尺沿测温杆放置方向水平设置,所述支撑杆远离立杆的一端设置有测温杆放置槽。本实用新型提供一种半导体生产用测温杆支撑架,通过支撑架的设置,有效的将刻度尺和测温杆进行结合,进而解决现有测温杆在使用过程中所存在的测量麻烦的技术问题,同时,本实用新型结构简单、
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212513364 U
(45)授权公告日 2021.02.09
(21)申请号 202021711471.0
(22)申请日 2020.08.17
(73)专利权人 济南兰星电子有限公司
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