一种微小型超高温压电振动加速度传感器.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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一种微小型超高温压电振动加速度传感器.pdf

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本实用新型涉及一种微小型超高温压电振动加速度传感器，属于电子材料与器件技术领域，包括安装底座、装配基面、压电模块和外壳；压电模块包括多片压电晶片和两个质量块，压片晶片为剪切式RECOB晶片，RECOB晶片的化学式为RECa4O(BO3)3(RE为Y和稀土元素)；外壳为一端开口的矩形壳体，与安装底座固定连接形成传感器的密封内腔；安装底座上还设置有通孔，通孔内安装有用于信号传输的双屏蔽高温铠装电缆。本实用新型体积较小，结构简单稳定，低介电损耗、热释电小、温度漂移小于5％，且该传感器耐温高达1000℃

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212514648 U (45)授权公告日 2021.02.09 (21)申请号 202021110946.0 (22)申请日 2020.06.16 (73)专利权人山