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吸附装置及具有其的设备.pdfVIP

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  • 2023-02-14 发布于四川
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吸附装置及具有其的设备.pdf

    本实用新型涉及吸附技术领域，具体涉及一种吸附装置及具有其的设备。吸附装置包括吸附平台，所述吸附平台上设有负压腔和若干吸附孔，所述吸附孔的一端与负压腔连通，另一端与外界连通，所述吸附平台上还设有辅助通道，所述辅助通道与吸附孔连通，且所述辅助通道具有吸附时的关闭状态及清洁时的正压状态。通过在吸附平台上设置辅助通道，且辅助通道与吸附孔连通，使得在吸附装置使用一段时间后，由吸附孔会向内部吸附外界的一些异物，需要对吸附装置进行清洁，可以在辅助通道内通入正压，将吸附孔内壁或者负压腔内的异物吹起，并从吸附孔与

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212531408 U (45)授权公告日 2021.02.12 (21)申请号 202020871769.1 (22)申请日 2020.05.21 (73)专利权人 九江清越光电科技有限公司

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