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一种应用于晶圆盒自动封装设备中的搬运装置,包括能够将封装前的晶圆盒搬运至入袋模组上的第一搬运装置以及能够将封装后的晶圆盒搬运至出料平台上的第二搬运装置。本实用新型实现了封装过程中晶圆盒在各个模组之间的自动化搬运、解放了人力、提高了生产效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212530323 U
(45)授权公告日 2021.02.12
(21)申请号 202021208618.4 B65B 35/16 (2006.01)
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