传感芯片、制备方法、回收方法、生物监测设备及应用.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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传感芯片、制备方法、回收方法、生物监测设备及应用.pdf

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本发明公开了传感芯片、制备方法、生物监测设备及应用，其中传感芯片，包括衬底以及形成与衬底上的器件层，器件层形成有若干微环单元，器件层上还形成有可移除的吸附层以及形成于吸附层上的PDMS微流结构层，吸附层为增强传感的传感吸附层，微流结构层形成有微流通道，微流结构层至少对应地覆盖微环单元。本发明的传感芯片通过采用特定的结构，在有效改善传感效率和准确性等方面性能的同时，还实现了芯片的重复利用，从而有效降低了应用成本。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113842961 A (43)申请公布日 2021.12.28 (21)申请号 202111086166.6 (22)申请日 2021.09.16 (71)申请人苏州集微光电有限公司