晶圆盒夹持装置及晶圆清洗机.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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晶圆盒夹持装置及晶圆清洗机.pdf

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本申请涉及晶圆盒夹持装置及晶圆清洗机。该夹持装置包括底板、支撑组件、夹持杆、夹持手臂、运动轨迹筒、推板和动力机构，其中：两个夹持杆通过支撑组件可转动地安装于底板上；至少一对夹持手臂分别安装于夹持杆上，与夹持杆同轴转动；两个运动轨迹筒分别安装于两个夹持杆上，运动轨迹筒与夹持杆同轴转动，运动轨迹筒上设有导向槽，导向槽与运动轨迹筒的轴线不平行；动力机构与推板连接，推板的两端分别插入导向槽中，动力机构驱动推板移动，以带动运动轨迹筒和夹持杆转动，进而带动夹持手臂转动。上述夹持装置结构简单、易实现，制造成本

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 111244022 A (43)申请公布日 2020.06.05 (21)申请号 20201