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本发明属于激光技术领域,提供了一种213nm紫外光的输出方法及系统,包括:控制激光器产生激光脉冲,所述激光脉冲经倍频晶体后产生532nm倍频光,所述532nm倍频光和剩余的1064nm基频光经四倍频晶体后产生266nm激光脉冲;所述266nm激光脉冲和所述剩余的1064nm基频光照射到五倍频晶体,以产生213nm紫外光。本发明的提供的方法可以避免二倍频光和三倍频光进行和频产生213nm激光脉冲过程中偏振需要转换的问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113258427 A
(43)申请公布日 2021.08.13
(21)申请号 202010084386.4
(22)申请日 2020.02.10
(71)申请人 北京科益虹源光电技术有限公司
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