椭球反射镜固定机构、光学测量系统及光刻设备.pdfVIP

下载本文档

1
0
约1.15万字
约 10页
2023-02-15 发布于四川
举报
版权申诉

椭球反射镜固定机构、光学测量系统及光刻设备.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种椭球反射镜固定机构，包括导向台、旋转台及预紧结构，导向台包括至少三个呈周向分布的滑槽，所述滑槽上滑动设置有定心杆；旋转台设置于所述导向台上，包括与所述滑槽一一对应的弧形槽，所述定心杆穿过对应的弧形槽后伸入椭球反射镜的通光孔内。旋转所述旋转台时，所述定心杆同时在所述滑槽及弧形槽内滑动直至抵接所述通光孔的内壁，实现椭球反射镜的自适应定心，从而精确的建立椭球反射镜的光轴与椭球反射镜固定机构的尺寸关系，能够提高光学性能。基于此，本发明还提供了一种光学测量系统及光刻设备。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113640938 A (43)申请公布日 2021.11.12 (21)申请号 202010328662.7 (22)申请日 2020.04.23 (71)申请人上海微电子装备（集团）股份有限公