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一种用于双光束以及多光束三维重合对准的方法,包括步骤:①利用应用于双光束光刻的光束对准系统,使第一束光与荧光聚合材料在焦点处行成荧光聚合点,定位第一束光的三维位置信息;②通过第二束光或者多束光激发所述的荧光聚合点;③调节第二束光或者多束光所对应的二向色镜的位置,至探测单元探测到的最强荧光信号处。本发明通过荧光聚合材料与所述第一束光发生聚合反应,定位第一束光的三维位置信息,并用激发的荧光强度变化来对准双光束以及多光束三维重合,使精度更高,且对准操作更为简洁。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114623762 A
(43)申请公布日 2022.06.14
(21)申请号 202011456448.6
(22)申请日 2020.12.11
(71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究
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