一种可灵活调节水平度的MEMS探针卡.pdfVIP

下载本文档

3
0
约1.07万字
约 12页
2023-02-15 发布于四川
举报
版权申诉

一种可灵活调节水平度的MEMS探针卡.pdf

1、本文档共12页，其中可免费阅读6页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及晶圆探针卡技术领域，公开了一种可灵活调节水平度的MEMS探针卡，通过内水平调节套筒和外水平调节套筒均分别设有多个长度规格，且两相邻的内水平调节套筒和外水平调节套筒的长度规格均相差30微米，将MEMS探针卡组件安装在支架的下端壁上，当MEMS探针卡组件出现不平整时，通过测量MEMS探针卡组件的水平度，然后分别更换不同长度规格的内水平调节套筒和外水平调节套筒，从而实现灵活调节MEMS探针卡组件的水平度，且内水平调节套筒和外水平调节套筒分别通过螺栓和压板固定在支架上，牢固可靠，有效避免探针卡

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113419163 A (43)申请公布日 2021.09.21 (21)申请号 202110785812.1 (22)申请日 2021.07.12 (71)申请人深圳市道格特科技有限公司