一种微热板及包括该微热板的MEMS气体传感器.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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一种微热板及包括该微热板的MEMS气体传感器.pdf

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本实用新型提供一种微热板及包括该微热板的MEMS气体传感器，所述微热板包括：硅衬底，其背部设置绝热腔；支撑层，其布设在所述绝热腔上方；加热电极，所述加热电极布设在所述支撑层上表面，且所述加热电极的中心位置空出测量区域；测量电极，所述测量电极布设在所述测量区域中；敏感膜，其设置在所述测量电极上方，并与所述测量电极电连接；以及加热电极焊盘和测量电极焊盘，所述加热电极焊盘与所述加热电极电连接，所述测量电极焊盘与测量电极电连接。相较于现有技术中三明治结构式微热板，加热电极和测量元设置在同一层的新型微热板

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212586286 U (45)授权公告日 2021.02.23 (21)申请号 202020979776.3 (22)申请日 2020.06.02 (73)专利权人郑州炜盛电子科技有限公司