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本实用新型涉及晶圆加工领域，具体涉及了一种晶圆压紧机构，包括压紧轴体、座体和连接于座体的第一驱动装置，座体固定连接在晶圆磨边机的机架上，压紧轴体与加工主轴同轴设置，且压紧轴体位于加工主轴的上方，压紧轴体转动连接于第一驱动装置，第一驱动装置驱动压紧轴体沿其轴向运动以靠近或远离加工主轴，以压紧或释放加工主轴上的晶圆，当压紧轴体将晶圆压紧于加工主轴，压紧轴体还可相对第一驱动装置转动，以便跟随主轴旋转，在加工主轴旋转后无需再重新压紧定位，减少了生产步骤，提升生产效率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212553075 U
(45)授权公告日 2021.02.19
(21)申请号 202020898517.8
(22)申请日 2020.05.25
(73)专利权人 广东长信精密设备有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
版权声明书
用户编号：8063122115000010
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