运动解耦的二维扫描微镜装置.pdfVIP

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2023-02-15 发布于四川
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运动解耦的二维扫描微镜装置.pdf

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本实用新型公开了一种运动解耦的二维扫描微镜装置，包括微镜、闭合线圈以及与微镜间隔设置的磁场发生装置、第一导磁柱、第二导磁柱，微镜的反射镜通过一对Y转轴与内框连接，内框通过一对垂直于Y转轴的X转轴与外框连接；第一导磁柱、第二导磁柱均设于闭合线圈正下方，且在内框上的正投影分别与X转轴、Y转轴所在的直线相交；第一导磁柱和第二导磁柱分别用于在磁场发生装置的作用下驱动通电的内框上的闭合线圈发生偏转。本实用新型将导磁柱设于闭合线圈正下方，并分别对应微镜的慢轴、快轴轴线所在部位，即可实现闭合线圈的对称受力，从

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212586648 U (45)授权公告日 2021.02.23 (21)申请号 202020952946.9 (22)申请日 2020.05.29 (73)专利权人苏州希景微机电科技有限公司