- 1、本文档共8页,其中可免费阅读4页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型公开了一种偏振分光棱镜基片无痕清洗装置,包括设备本体和清洗喷嘴,所述设备本体内部卡压有隔板,所述隔板一侧成型有高压清洗箱,所述隔板另一侧成型有超声波清洗箱,所述高压清洗箱顶部合页连接有盖板一,所述盖板一和所述高压清洗箱内壁上均插接有所述清洗喷嘴,所述清洗喷嘴一端插接有送液管道。有益效果在于:本实用新型通过设置高压清洗箱、清洗喷嘴以及无泡清洗剂罐,可预先通过高压水流冲洗掉基片上的颗粒粉尘,然后再经超声波清洗,可大大降低粉尘颗粒划伤基片的概率,同时又能在清洗剂的保护下,又进一步保护了基片。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212550726 U
(45)授权公告日 2021.02.19
(21)申请号 202020947115.2
(22)申请日 2020.05.29
(73)专利权人 福州蓝达光电有限公司
您可能关注的文档
- 机械臂装置.pdf
- 进样盘装置.pdf
- 电池状态诊断仪.pdf
- 一种花纹辊铣床.pdf
- 一种洗衣机波轮连接结构及洗衣机.pdf
- 一种自清洁油墨分散装置.pdf
- 汽车模型车胎组装设备.pdf
- 一种设备机房支架结构.pdf
- 座盘及椅背连动机构.pdf
- 一种具有杀菌功能的口罩.pdf
- 农作物病虫害防治服务与验收合同.doc
- 正元智慧(300645)公司2024年财务分析研究报告.doc
- 提升资金效率的策略在建设项目的应用分析.docx
- 2025年各地高考历史试题分模块分课时整理-必修一.doc
- 2023年陕西省汉中市佛坪县陈家坝镇招聘社区工作者真题及完整答案详解1套.docx
- 小学美术教育中社会舆情传播动力学模型的应用研究教学研究课题报告.docx
- 2023年陕西省汉中市勉县同沟寺镇招聘社区工作者真题及参考答案详解1套.docx
- 提升农业科技创新能力促进乡村振兴的路径.docx
- 2023年陕西省汉中市勉县勉阳镇招聘社区工作者真题参考答案详解.docx
- 2023年陕西省汉中市勉县二道河乡招聘社区工作者真题附答案详解.docx
最近下载
- 统编版六年级语文上册习作《多彩的活动》精品课件(共84张PPT).pptx VIP
- 电厂2×600MW机组扩建工程建筑及安装工程土建专业主要技术施工方案.docx VIP
- 电厂2×600MW扩建(脱硫土建、安装)工程土建专业主要施工技术方案.docx VIP
- 电厂2×600MW机组扩建工程建筑及安装锅炉专业施工技术方案.docx VIP
- 煤电公司2×600MW机组工程汽机专业主要施工技术方案.pdf VIP
- 2X660MW超超临界燃煤机组工程qtz2500型塔式起重机安装的施工方案.doc VIP
- 2X660MW超超临界燃煤机组工程#2锅炉平台楼梯安装方案全案(终版).doc VIP
- 2X660MW超超临界燃煤机组工程#2锅炉平台楼梯安装的方案.doc VIP
- 电厂(2×660MW超超临界机组)机组安装工程锅炉专业施工方案.docx VIP
- 电厂(2×660MW超超临界机组)机组安装工程汽机专业施工方案.docx VIP
知识产权出版社有限责任公司(原名专利文献出版社)成立于1980年8月,由国家知识产权局主管、主办。长期以来, 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作, 经过多年来的积累,已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
文档评论(0)