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本实用新型提供一种单晶硅方棒外圆磨削装置,包括工作台,在所述工作台上设有用于卡固硅方棒的顶固组件和用于磨削所述硅方棒外圆的磨削组件,所述磨削组件可沿所述硅方棒宽度方向移动并与所述硅方棒对角棱线接触;所述顶固组件带动所述硅方棒在所述工作台上沿所述硅方棒长度方向往复移动,同时所述顶固组件带动所述硅方棒以所述硅方棒与所述磨削组件接触的连接线为轴线做往复转动。本实用新型提出的磨削装置,解决了现有技术中硅方棒倒角加工容易生产偏角弧形结构的技术问题,结构简单且易于控制,制造精度高,获得硅方棒外圆倒角一致性好
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212600836 U
(45)授权公告日 2021.02.26
(21)申请号 202020626086.X B24B 47/22 (2006.01)
(22)申请日 2
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