一种双泵500管径的升华仪.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种双泵500管径的升华仪.pdf

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本实用新型公开了一种双泵500管径的升华仪，包括十温区加热炉、柜体、进气端法兰管、观察口、质量流量计、温控器、真空控制器、抽气端法兰管、触摸屏、散热风扇、第一机械泵、第一气动挡板阀、第一分子泵、第一电离规、第一双层冷阱、第一粗抽管道、第一细抽管道、第一插板阀、第二气动挡板阀、第三气动挡板阀、第一电阻规、进气阀、石英管、第四气动挡板阀、第二电阻规、第五气动挡板阀、第二插板阀、第二双层冷阱、第二电离规、第二分子泵、第二机械泵、第六气动挡板阀、第二粗抽管道、第二细抽管道、电动拉杆、第一热电偶、第二热电

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212594082 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020940351.1 (22)申请日 2020.05.29 (73)专利权人安徽贝意克智能科技有限公司