原创力文档- 1
- 0
- 约7.38千字
- 约 10页
- 2023-02-16 发布于四川
- 举报
本实用新型公开了一种六自由度夹持装置，包括夹持结构、X轴线性马达单轴滑台、Y轴线性马达单轴滑台、Z轴线性马达单轴滑台、自动测角滑台以及自动回转滑台，Y轴线性马达单轴滑台安装于X轴线性马达单轴滑台并能随X轴线性马达单轴滑台在X轴轴向移动，Z轴线性马达单轴滑台安装于Y轴线性马达单轴滑台并能随Y轴线性马达单轴滑台在Y轴轴向移动，自动测角滑台安装于Z轴线性马达单轴滑台并能随Z轴线性马达单轴滑台在Z轴轴向移动，自动回转滑台安装于自动测角滑台并能随自动测角滑台前后倾斜，夹持结构安装于自动回转滑台并能随自动回
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 212608043 U
(45)授权公告日 2021.02.26
(21)申请号 202021417294.5
(22)申请日 2020.07.17
(73)专利权人 长园半导体设备（珠海）有限公司
文档评论（0）